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低温等离子体处理技术

低温等离子体虽然整体表现的温度并不高，但其内部因质量较轻而高速运动的电子温度却很高，能量很大。在低温等离子体中除了处于高速运动状态的电子外；还存在大量处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等活性粒子。利用低温等离子体中这些处在激发状态下的物质，可对各种材料表面作各种处理，而不伤及物质原有的本质特征。近年来，低温等离子体表面处理技术正被各行各业所广泛应用，取代传统湿法表面处理，取得了良好的经济效益与绚丽多彩的科技成果。